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電源類產(chǎn)品

非對稱雙極脈沖磁控濺射電源

時間:2020-04-29 13:35:45 來源:金創(chuàng)立科技 瀏覽次數(shù):
主要特點:
可單靶或雙靶工作,雙靶工作時,兩個靶的材料和尺寸都可以不同,每個靶的濺射電流可分別設(shè)定;單靶工作時也可以減少電荷累積引起的異常放電。適合于鍍制碳化物、氧化物、氮化物等膜層,雙靶運用可方便控制成分比。
1、DSP數(shù)字化控制/精度高/重復性好,配有控制面板和控制程序。
2、具有過流、過熱、過壓、短路保護。
3、控制方式:恒壓、恒流、恒功率
4、冷卻方式:風冷;風冷+水冷
5、根據(jù)用戶要求預留PLC遠控接口(遠控功能)

主要參數(shù):
空載電壓≥800V,工作電壓:200-750V
正負極性平均電流獨立穩(wěn)流,穩(wěn)流精度1%
脈沖頻率:5KHZ-40KHZ,連續(xù)可調(diào)或定頻40KHZ
脈沖占空比:10%-80%,連續(xù)可調(diào)
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